[发明专利]一种TEM样品及其制备方法有效
| 申请号： | 201911012617.4 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110579495B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 邹锭 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杨华 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种TEM样品及其制备方法，包括：提供待制备样品；在所述待制备样品的目标区域的顶部形成第一保护层；在所述待制备样品的底部形成第二保护层；沿所述第一保护层的两侧向所述待制备样品的中间部分减薄，以形成包含所述目标区域的薄区以及位于所述薄区两侧的墩子。由于在待制备样品的底部形成了第二保护层，因此，在沿所述第一保护层的两侧向所述待制备样品的中间部分减薄的过程中，底部的第二保护层使得样品底部有了结构支撑，从而可以抑制样品底部的卷曲和形变，减弱窗帘效应对TEM样品均匀性的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tem 样品 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种TEM样品的制备方法，其特征在于，包括：/n提供待制备样品；/n在所述待制备样品的目标区域的顶部形成第一保护层；/n在所述待制备样品的底部形成第二保护层；/n沿所述第一保护层的两侧向所述待制备样品的中间部分减薄，以形成包含所述目标区域的薄区以及位于所述薄区两侧的墩子。/n
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