[发明专利]测量束流能量的装置及方法在审
| 申请号： | 201910987319.0 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN110658547A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 赖龙伟;冷用斌;曹珊珊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海高等研究院 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 31002 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量束流能量的装置及方法，其中测量束流能量的装置，包括：束流偏转单元，用于偏转束流方向，使束流在运动过程中方向发生变化；量测单元，用于测量束流在所述束流偏转单元内运动的时长；计量单元，连接至所述量测单元，用于根据所述量测单元测量到的时长获取到束流能量。 | ||
| 搜索关键词： | 束流 量测单元 束流能量 测量 偏转单元 时长 偏转 计量单元 运动过程 | ||
【主权项】：
1.一种测量束流能量的装置，其特征在于，包括：/n束流偏转单元，用于偏转束流方向，使束流在运动过程中方向发生变化；/n量测单元，用于测量束流在所述束流偏转单元内运动的时长；/n计量单元，连接至所述量测单元，用于根据所述量测单元测量到的时长获取到束流能量。/n
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