[发明专利]一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统在审
| 申请号： | 201910984165.X | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN110987718A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 向杰;候雪玲 | 申请（专利权）人： | 上海晶维材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N7/04 | 分类号： | G01N7/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 上海市普陀区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明专利公开了一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统，由真空获得系统，真空测量系统等八个子系统所组成；利用分子流下通过已知流导的流量与其两端压力差相关的原理来进行测试。本系统通过特殊设计的可更换、标定的已知流导，可以对各种吸气材料(特别是MEMS真空封装吸气薄膜)的吸气性能进行测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 定压法 测试 吸气 材料 性能 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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