[发明专利]一种掺杂的硫化物复合薄膜及其制备方法、含有掺杂的硫化物复合薄膜的工件有效
| 申请号： | 201910979197.0 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN110578115B | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 薛玉君;蔡海潮;李航;司东宏;贺江涛;刘春阳;杨芳;马喜强 | 申请（专利权）人： | 河南科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 胡云飞 |
| 地址： | 471003 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种掺杂的硫化物复合薄膜及其制备方法、含有掺杂的硫化物复合薄膜的工件，该掺杂的硫化物复合薄膜由掺杂元素和硫化物组成，掺杂元素为Ce和Al，硫化物为WS |
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| 搜索关键词： | 一种 掺杂 硫化物 复合 薄膜 及其 制备 方法 含有 工件 | ||
【主权项】：
1.一种掺杂的硫化物复合薄膜，其特征在于，由掺杂元素和硫化物组成，掺杂元素为Ce和Al，硫化物为WS
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