[发明专利]带光路漂移补偿的收发分体式五自由度测量装置及方法在审
| 申请号： | 201910977623.7 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN110666592A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 段发阶;张聪;傅骁;刘文正;苏宇浩;余珍鑫 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B23Q17/24 | 分类号： | B23Q17/24 |
| 代理公司： | 12201 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 刘子文 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种带光路漂移补偿的收发分体式五自由度测量装置及方法，测量装置包括由激光器、第一棱镜反射镜、第一分光镜、第二分光镜、第二棱镜反射镜、第四分光镜、第二凸透镜、第二二维位置敏感探测器、第三凸透镜和第三二维位置敏感探测器构成的激光发射端；由第三分光镜、第一四象限探测器、第一凸透镜、第一二维位置敏感探测器和第二四象限探测器构成的激光接收端；使用该测量装置时将激光发射端安装在数控机床待测轴的固定位置，激光接收端安装在数控机床待测轴的滑台上；本发明可实现俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度及竖直直线度的同时测量，实现远距离测量；可消除激光角度漂移对五自由度测量的影响，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 分光镜 凸透镜 敏感探测器 二维位置 四象限探测器 五自由度测量 激光发射端 棱镜反射镜 在数控机床 测量装置 激光接收 测轴 测量 漂移 水平直线度 远距离测量 漂移补偿 竖直直线 激光器 分体式 俯仰角 滚转角 偏摆角 光路 收发 激光 | ||
【主权项】：
1.一种带光路漂移补偿的收发分体式五自由度测量装置，其特征在于，包括激光器(1)、第一棱镜反射镜(2)、第一分光镜(3)、第二分光镜(4)、第三分光镜(5)、第一四象限探测器(6)、第一凸透镜(7)、第一二维位置敏感探测器(8)、第二棱镜反射镜(9)、第四分光镜(10)、第二四象限探测器(11)、第二凸透镜(12)、第二二维位置敏感探测器(13)、第三凸透镜(14)和第三二维位置敏感探测器(15)；/n所述激光器(1)、第一棱镜反射镜(2)、第一分光镜(3)、第二分光镜(4)、第二棱镜反射镜(9)、第四分光镜(10)、第二凸透镜(12)、第二二维位置敏感探测器(13)、第三凸透镜(14)和第三二维位置敏感探测器(15)构成激光发射端(16)；/n所述第三分光镜(5)、第一四象限探测器(6)、第一凸透镜(7)、第一二维位置敏感探测器(8)和第二四象限探测器(11)构成激光接收端(17)；使用该测量装置时将激光发射端(16)安装在数控机床待测轴的固定位置，激光接收端(17)安装在数控机床待测轴的滑台上；/n激光器(1)发出激光，激光被第一棱镜反射镜(2)反射后，再经过第一分光镜(3)后分成两束激光，透过第一分光镜(3)的激光经过第二分光镜(4)后分成两束激光，透过第二分光镜(4)的激光经过第三分光镜(5)后分成两束激光，透过第三分光镜(5)的激光照射到第一四象限探测器(6)上，实现水平直线度与竖直直线度的测量，并作为该测量装置的二维直线度测量结果；/n被第三分光镜(5)反射的激光经过第一凸透镜(7)聚焦在第一二维位置敏感探测器(8)上，实现俯仰角、偏摆角测量；/n被第二分光镜(4)反射的激光经过第二凸透镜(12)聚焦在第二二维位置敏感探测器(13)上，实现透过第二分光镜(4)的激光角度漂移测量；/n被第一分光镜(3)反射的激光被第二棱镜反射镜(9)反射，被第二棱镜反射镜(9)反射的激光经过第四分光镜(10)后分成两束激光，透过第四分光镜(10)后的激光照射到第二四象限探测器(11)上，实现水平直线度与竖直直线度的测量，该测量装置只利用第二四象限探测器(11)的竖直方向直线度，并结合第一四象限探测器(6)的竖直方向直线度实现滚转角测量；/n被第四分光镜(10)反射的激光经过第三凸透镜(14)聚焦在第三二维位置敏感探测器(15)上，实现透过第四分光镜(10)的激光角度漂移测量。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910977623.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
