[发明专利]一种二氧化硅溶胶的制备方法及蓝宝石化学机械抛光液有效
| 申请号： | 201910968513.4 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110668451B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 张泽芳;张文娟 | 申请（专利权）人： | 临汾博利士纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/145 | 分类号： | C01B33/145;C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 沈攀攀;许亦琳 |
| 地址： | 041500 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及化工领域，具体涉及一种二氧化硅溶胶的制备方法及蓝宝石化学机械抛光液。一种二氧化硅溶胶的制备方法包括如下步骤：1)提供聚硅酸，将聚硅酸升温加热后，搅拌下加入碱，得溶液A；2)向所述步骤1)的溶液A中搅拌下加入丙三醇，得溶液B；3)向所述步骤2)的溶液B中搅拌下滴加碱，得二氧化硅溶胶。本发明二氧化硅溶胶为软团聚磨料，在提高抛光速率的同时能有效减少抛光过程中的划伤问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二氧化硅 溶胶 制备 方法 蓝宝石 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
1.一种二氧化硅溶胶的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：/n1)提供聚硅酸，将聚硅酸升温加热后，搅拌下加入碱，得溶液A，/n2)向所述步骤1)的溶液A中搅拌下加入丙三醇，得溶液B；/n3)向所述步骤2)的溶液B中搅拌下滴加碱，得二氧化硅溶胶。/n
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