[发明专利]基于级联补偿器的未知深度光学自由曲面检测装置及方法有效
| 申请号： | 201910961916.6 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN110657757B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张磊;张宇坤;黄小林;李劲松;俞本立 | 申请（专利权）人： | 安徽大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/16 |
| 代理公司： | 合肥市道尔知识产权代理有限公司 34169 | 代理人： | 董艳玲 |
| 地址： | 230000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于级联补偿器的未知深度光学自由曲面检测装置与方法，包括依次水平设置的干涉仪(L1)、混合补偿系统(L2)和被测自由曲面(L3)。本发明采用双级联变形反射镜(DM)进行像差补偿，利用一种级联DM解耦平均技术，可以在不降低总体像差补偿量的同时实现无耦合的像差平均分配，它对于自由曲面中非旋转对称偏离部分的覆盖范围扩大到160μm，这是迄今为止报道的最大覆盖范围；同时采用可调谐波片的时分监测(TDM)技术，避免了DM表面监测的复杂结构，使得配置更加紧凑。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 级联 补偿 未知 深度 光学 自由 曲面 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.基于级联补偿器的未知深度光学自由曲面检测装置，其特征在于：包括依次水平设置的干涉仪(L1)、混合补偿系统(L2)和被测自由曲面(L3)；所述混合补偿系统(L2)包括两个级联的变形反射镜(S11)和(S13)、一个部分补偿器(S14)、一个偏振分束器(S9)、两个可调谐波片(S10)和(S12)，所述两个可调谐波片(S10)和(S12)对称设置在偏振分束器(S9)的上、下两侧光路上，所述偏振分束器(S9)的上、下两侧光路上位于可调谐波片(S10)和(S12)的外侧对称设有变形反射镜(S11)和(S13)；所述部分补偿器(S14)给旋转对称像差补偿，变形反射镜(S11)和(S13)给非旋转对称像差补偿；所述干涉仪(L1)的p偏振光进入所述混合补偿系统(L2)的偏振分束器(S9)后被全部反射，穿过可调谐波片(S10)到达变形反射镜(S11)，经过变形反射镜(S11)反射后，光束再次通过可调谐波片(S10)，成为s偏振光，所有光束全部透过偏振分束器(S9)，穿过可调谐波片(S12)后到达变形反射镜(S13)，经变形反射镜(S13)反射后，再次通过可调谐波片(S12)，重新成为p偏振光，所述新的p偏振光全部由偏振分束器(S9)反射，穿过部分补偿器(S14)后到达被测自由曲面(L3)，并被被测自由曲面(L3)反射回所述混合补偿系统(L2)，其反射光束按入射光路原路返回至干涉仪(L1)。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽大学，未经安徽大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910961916.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种刀片/刀具内凹式结构精准测量方法
- 下一篇：一种盖板工件检测设备
