[发明专利]一种半导体元器件用晶棒外径研磨设备

摘要

本发明涉及一种半导体元器件用晶棒外径研磨设备，包括工作台、安装架、承托机构与研磨机构，所述工作台上端安装有承托机构，承托机构上端布置有安装架，安装架下端安装有研磨机构，研磨机构包括驱动电机、驱动齿轮、从动齿轮、连接板与研磨支链，承托机构包括对接支链、滑动块、压紧板、固定板、伸缩板、承托支链与电动滑块，研磨支链包括工作板、调节杆、横板、调节螺栓与研磨板。本发明在工作时通过承托机构与研磨机构的相互配合，达到交替对晶棒左右两端进行夹持的目的，以便一次性完成对晶棒整体的研磨工作，缩减了操作步骤，提高了研磨精度，且无需以人工方式对晶棒进行夹紧，提高了对中精度。

主权项

1.一种半导体元器件用晶棒外径研磨设备，包括工作台(1)、安装架(2)、承托机构(3)与研磨机构(4)，其特征在于：所述工作台(1)上端安装有承托机构(3)，承托机构(3)上端布置有安装架(2)，安装架(2)下端安装有研磨机构(4)；其中：/n所述研磨机构(4)包括驱动电机(41)、驱动齿轮(42)、从动齿轮(43)、连接板(44)与研磨支链(45)，驱动电机(41)通过电机座安装在工作台(1)上，驱动电机(41)输出轴通过联轴器与驱动齿轮(42)一端相连接，驱动齿轮(42)另一端通过轴承安装在工作台(1)上，驱动齿轮(42)上端与从动齿轮(43)下端相啮合，从动齿轮(43)通过轴承安装在安装架(2)下端，从动齿轮(43)为空心结构，从动齿轮(43)内壁上下两端对称安装有连接板(44)，连接板(44)侧壁上安装有研磨支链(45)，且连接板(44)为上下可伸缩结构；/n所述研磨支链(45)包括工作板(451)、调节杆(452)、横板(453)、调节螺栓(454)与研磨板(455)，工作板(451)安装在连接板(44)内侧，工作板(451)左右两侧对称开设有卡槽，工作板(451)中部从左往右均匀开设有调节孔，调节孔内通过滑动配合方式安装有调节杆(452)，左右相邻的调节杆(452)之间通过横板(453)相连接，横板(453)中部通过螺纹安装有调节螺栓(454)，调节螺栓(454)下端通过螺纹与工作板(451)侧壁相连接，调节杆(452)下端通过可拆卸方式安装有研磨板(455)，研磨板(455)内壁为圆弧面结构，且研磨板(455)内壁通过可拆卸方式安装有金刚石磨片；/n所述承托机构(3)包括对接支链(31)、滑动块(32)、压紧板(33)、固定板(34)、伸缩板(35)、承托支链(36)与电动滑块(37)，工作板(451)左右两侧对称安装有对接支链(31)，位于从动齿轮(43)上侧的工作板(451)上的对接支链(31)侧壁上安装有滑动块(32)，且该对接支链(31)下端安装有压紧板(33)，位于从动齿轮(43)下侧的工作板(451)上的对接支链(31)上安装有电动滑块(37)，电动滑块(37)上端安装有承托支链(36)，承托支链(36)与压紧板(33)之间布置有固定板(34)，固定板(34)上下两端对称安装有伸缩板(35)，伸缩板(35)为上下可伸缩结构，位于固定板(34)上侧的伸缩板(35)与压紧板(33)相连接，位于固定板(34)下侧的伸缩板(35)与承托支链(36)相连接。/n