[发明专利]一种基于四象限光电探测器的激光角度测量系统在审
申请号: | 201910942671.2 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN110530256A | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 闫钰锋;童宏伟;韩春晓;白素平;于信 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
主分类号: | G01B7/30 | 分类号: | G01B7/30 |
代理公司: | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王云晓<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 130012 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光角度测量系统,包括激光发射器和四象限光电探测器,四象限光电探测器包括四个光生伏特器件、遮光片和外腔;四个光生伏特器件按直角坐标系分布,相邻光生伏特器件之间的间隙为直角坐标系的坐标轴;遮光片位于相邻光生伏特器件之间的间隙以隔离相邻光生伏特器件,遮光片的侧壁与光生伏特器件受光侧表面相互垂直。当输入光的入射角发生改变时,会在光生伏特器件表面形成阴影区域,该阴影区域的面积与光线的入射角相对应,光生伏特器件产生电流的大小与阴影区域的面积同样相互对应。对该电流进行检测可以最终计算得到入射光的角度,实现对入射光偏转角度的测量。 | ||
搜索关键词: | 光生伏特器件 阴影区域 遮光片 四象限光电探测器 直角坐标系 入射光 入射角 角度测量系统 激光发射器 偏转 表面形成 侧表面 输入光 坐标轴 侧壁 受光 外腔 测量 垂直 激光 隔离 检测 | ||
【主权项】:
1.一种基于四象限光电探测器的激光角度测量系统,其特征在于,包括激光发射器和四象限光电探测器,所述四象限光电探测器包括四个光生伏特器件、遮光片和外腔;/n四个所述光生伏特器件按直角坐标系分布,相邻所述光生伏特器件之间的间隙为所述直角坐标系的坐标轴;/n所述遮光片呈十字形,所述遮光片位于相邻所述光生伏特器件之间的间隙以隔离相邻所述光生伏特器件,所述遮光片的侧壁与所述光生伏特器件受光侧表面相互垂直,所述遮光片沿从所述光生伏特器件受光侧表面指向受光侧方向延伸;/n所述光生伏特器件与所述遮光片均位于所述外腔内,所述外腔包括呈环形包围所述光生伏特器件的挡光腔壁,所述挡光腔壁沿所述光生伏特器件受光侧表面指向受光侧方向延伸;/n所述激光发射器发出的激光以预设角度从所述受光侧照射至所述四象限光电探测器。/n
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