[发明专利]有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法有效
| 申请号： | 201910936196.8 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN111007069B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 李相植;安根湖;高锡准;黄暎福 | 申请（专利权）人： | 恒邦解决方案有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/27 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 张黎;王刚 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法。本发明的目的在于提供一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法，能够通过在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序，在发现缺陷或异常时省略后续工序的进行并反馈给沉积设备，由此实现生产费用的降低及生产效率的提高。本发明的另一目的在于提供一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法，能够正确地自动对齐(align)多个检查用设备，以在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序的过程中，为了防止因与外部大气的接触引起的变质，将老化及光学检查工序均在氮腔室内顺利地自动进行。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 发光二极管 面板 老化 光学 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
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