[发明专利]压差探测集成块及其制造方法在审
| 申请号： | 201910933036.8 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110567636A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 张心强;靳毅;陈林;郜晨希;王迪;林琳;郑旭;远雁;刘瑞琪;李超波 | 申请（专利权）人： | 川北真空科技(北京)有限公司;中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L13/06 | 分类号： | G01L13/06;G01L19/00 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 102200 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压差探测集成块及其制造方法，属于压差传感器技术领域，其中，压差探测集成块包括：上电极；下电极，与所述上电极平行且间隔设置；导气垫圈，为一体结构，连接在所述上电极与所述下电极之间，并分别与所述上电极和下电极通过固定的方式连接为一整体结构；本发明的压差探测集成块，采用在上下电极之间加入一体结构的导气垫圈，然后将上下电极以及导气垫圈固定为一个整体，从而可降低现有技术中的压差传感器采用多组调距配件产生的装配积累误差。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 导气垫圈 压差探测 集成块 下电极 压差传感器 上下电极 一体结构 积累误差 间隔设置 固定的 调距 装配 平行 配件 制造 | ||
【主权项】：
1.压差探测集成块，其特征在于，包括：/n上电极(1)；/n下电极(2)，与所述上电极(1)平行且间隔设置；/n导气垫圈(3)，为一体结构，连接在所述上电极(1)与所述下电极(2)之间，并分别与所述上电极(1)和下电极(2)通过固定的方式连接为一整体结构。/n
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