[发明专利]一种基于磁扭电效应的磁场传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201910920177.6 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110794346B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 刘明;胡忠强;吴金根;周子尧;王志广 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R33/06 | 分类号： | G01R33/06;G01R33/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 贺小停 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于磁扭电效应的磁场传感器及其制造方法，包括压电材料、弹性层材料、永磁体材料、柔性电极、以及压电材料的上表面电极、下表面电极；压电材料的上、下表面贴合柔性电极，并以三明治结构封装于弹性层之间，压电材料位于弹性层长度方向的中心位置，弹性层的两端各自粘接一对永磁体，永磁体材料在外磁场的作用下产生扭矩，并对压电材料产生压应力的作用，压电材料产生电信号输出，继而实现对外界直流磁场、交流磁场的传感。本发明的磁场传感器，相比于常见的磁电传感器，无需偏置磁场，驱动简单，能耗低，基于磁扭电的悬臂梁结构也大大提高了传感器的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磁扭电 效应 磁场 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于磁扭电效应的磁场传感器，其特征在于，包括压电材料(1)、弹性层材料(2)、永磁体材料(3)和柔性电极(4)；两片柔性电极(4)贴于压电材料(1)的上、下表面；贴好柔性电极(4)的压电材料(1)由两层弹性层材料(2)以“三明治”结构封装好，压电材料(1)封装在弹性层材料(2)长度方向的中心位置，柔性电极(4)和压电材料(1)位于两层弹性层材料(2)的夹层之间；四个大小相同的永磁体材料分成两对，两对永磁体材料(3)分别粘接于封装后的弹性层材料(2)的两端，同一端的永磁体材料(3)分别粘接在封装后的弹性层材料(2)上下表面；压电材料(1)包括上电极面(5)下电极面(6)，压电材料(1)为薄片结构。/n
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