[发明专利]一种具有过滤及均匀化喷嘴的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201910915478.X | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN112553579B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 任三兵 | 申请（专利权）人： | 宝山钢铁股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人： | 周成 |
| 地址： | 201900 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有过滤及均匀化喷嘴的真空镀膜装置，其特征在于：包括坩埚，其外侧设有感应加热器，坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体，布流箱体内设有一水平向的隔板，布流箱体顶部连有喷嘴，蒸汽管道上设有调压阀；所述隔板，包括分压板，及连于其上表面的过滤板，分压板和过滤板均为多孔结构；所述分压板设置为分段式结构，其正对蒸汽管道的位置为D1段，分别位于D1段两侧的D2、D3段，位于D2旁的D4段，及位于D3段旁的D5段。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时，在钢板表面形成均匀镀层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 过滤 均匀 喷嘴 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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