[发明专利]一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备在审
| 申请号： | 201910913163.1 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN111058010A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;冯晓庭;魏艳玲;周锐;刘江江;邓石新;黄雄 | 申请（专利权）人： | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/02;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523838 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备，设有等离子体除残留胶腔室,前段为高压辉光放电刻蚀除残胶段，后段为柱状弧光电子源刻蚀段，腔室侧面开了两窗口、一侧设有轨道；高压辉光放电刻蚀除残胶装置组件，包括离子清除残胶高压棒组件和第一移动小车，小车行走在轨道上、上面设有由立面板和框架组成的密封门托架，立面板上固定着伸向窗口的槽型支承抽屉；离子清除残胶高压棒组件固定在立面板上；柱状弧光电子源刻蚀装置组件，包括柱状弧光电子源和第二移动小车组件；柱状弧光电子源固定在立面板上；通过移动小车在垂直于机架的轨道上的来回行走，使得离子清除残胶高压棒组件和柱状弧光电子源可推入或拉出腔室。本发明除胶效果良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 卷绕 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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