[发明专利]基于组合树模型的半导体PVD制程的电阻率虚拟量测方法在审
| 申请号： | 201910910087.9 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110782546A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 林义征 | 申请（专利权）人： | 上海众壹云计算科技有限公司 |
| 主分类号： | G07C3/14 | 分类号： | G07C3/14;G07C3/00;G06N20/20;G06Q10/06;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 11616 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 任娜娜 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于组合树模型的半导体PVD制程的电阻率虚拟量测方法，包括以下步骤：一、将基于组合预测方法[7]构建集成树组合模型，对WAT的电气参数进行在线虚拟量测；二、该集成树组合模型将4种集成树作为基学习器对晶圆制程状态信息进行初步虚拟量测，并将4个基学习器的预测结果转换为元特征向量，作为集成树元学习器的输入，进行进一步的虚拟量测，集成树模型相对于常见的虚拟量测模型LASSO、PLSR、SVR、GPR、ANN模型更加适用于PVD制程上的虚拟量测，而集成树组合模型比单一集成树虚拟量测模型具有更高的预测精度，可以做到实时监控和预警，将预警时间大大提前。 | ||
| 搜索关键词： | 虚拟量测 组合模型 学习器 制程 虚拟量测模型 预警 电气参数 实时监控 特征向量 预测结果 在线虚拟 电阻率 树模型 组合树 预测 构建 晶圆 量测 半导体 转换 | ||
【主权项】：
1.一种基于组合树模型的半导体PVD制程的电阻率虚拟量测方法，其特征在于，包括以下步骤：/n一、将基于组合预测方法[7]构建集成树组合模型，对WAT的电气参数进行在线虚拟量测；/n二、该集成树组合模型将4种集成树作为基学习器对晶圆制程状态信息进行初步虚拟量测，并将4个基学习器的预测结果转换为元特征向量，作为集成树元学习器的输入，/n进行进一步的虚拟量测；/n三、该集成树组合模型结合Bagging、Boosting和Stacking技术，首先基于RandomForest、Extra-Trees、XGBoost、lightGBM 4种基学习器(Base learner)对晶圆物理气相沉淀制程进行初步虚拟量测，然后将4个基学习器的预测结果转换为元特征向量，作为元学习器(Metalearner)lightGBM的输入，进行进一步的虚拟量测；/n四、为提升虚拟量测精度，采用序列模型优化算法对组合预测模型进行超参优化；/n五、最后通过与常用的虚拟量测方法在物理气相沉淀电阻率上的虚拟量测表现进行对比研究。/n
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