[发明专利]基于AI算法的SEM图形量测方法有效
| 申请号： | 201910910073.7 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110765993B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 林义征 | 申请（专利权）人： | 上海众壹云计算科技有限公司 |
| 主分类号： | G06V10/82 | 分类号： | G06V10/82;G06V10/44;G06V10/50;G06V10/46;G06V10/24;G06V10/762;G06V10/764;G06T7/00;G06T7/62;G06T7/13 |
| 代理公司： | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人： | 雒盛林 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于AI算法的SEM图形量测方法，包括如下方法：使用AI技术实现SEM图形的量测，提出的AI量测方案由三大模块构成：一、图像上的标尺刻度识别：采用深度学习技术为最终的量测提供像素单位长度；二、模板匹配：采用FLANN模板匹配技术对所要量测的部位进行精准定位，并获得局部图像；三、具体SEM图像的量测：采用二值化、边缘识别等技术对元器件的尺寸进行量测。增加了自动化水平。提高了工作效率，原因是AI模型不会疲劳，而人类会疲劳，并且AI模型每单位时间的工作量要远远高于人类。降低了量测成本，原因是AI模型取代工程师，并且工作效率大大提高。基于实时的量测结果，工程师可以及时的调整工艺参数，提高良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 ai 算法 sem 图形 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于AI算法的SEM图形量测方法，其特征在于包括如下方法：使用AI技术实现SEM图形的量测，提出的AI量测方案由三大模块构成：/n一、图像上的标尺刻度识别：采用深度学习技术为最终的量测提供像素单位长度；/n二、模板匹配：采用FLANN模板匹配技术对所要量测的部位进行精准定位，并获得局部图像；/n三、具体SEM图像的量测：采用二值化、边缘识别等技术对元器件的尺寸进行量测。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海众壹云计算科技有限公司，未经上海众壹云计算科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910910073.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
