[发明专利]一种高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂在审
| 申请号: | 201910908579.4 | 申请日: | 2019-09-25 |
| 公开(公告)号: | CN112552280A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
| 发明(设计)人: | 钱晓春;胡春青;龚艳;徐丽萍 | 申请(专利权)人: | 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C07D401/04 | 分类号: | C07D401/04;G03F7/004;C09D11/03;C09D11/38;C09D7/63 |
| 代理公司: | 北京汉德知识产权代理事务所(普通合伙) 11328 | 代理人: | 刘子文;徐驰 |
| 地址: | 213159 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: |
本发明公开一种高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂,具有通式(A)所示结构。该产酸剂对波长300‑450nm特别是365nm(I线)和405nm(H线)的活性能量射线具有高灵敏度,溶解性好且产酸性强的光产酸剂。 |
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| 搜索关键词: | 一种 高产 亚胺 类光产酸剂 | ||
【主权项】:
暂无信息
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