[发明专利]红外线感测器的低温高真空封装方法有效

专利信息
申请号: 201910906353.0 申请日: 2019-09-24
公开(公告)号: CN112629673B 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 刘坤明;张敬瑜;吴信汉 申请(专利权)人: 高尔科技股份有限公司
主分类号: G01J5/04 分类号: G01J5/04;G01J5/00;G01J5/02
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 李林
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明揭示一种红外线感测器的低温高真空封装方法,首先,置入一基座、一红外线感测芯片、一焊料环、一光学透视窗、吸气剂与一金属框于一真空回焊炉的真空腔体中,且真空腔体中设有至少一抛光式金属遮板。接着,加热并激活吸气剂,并以抛光式金属遮板区隔真空腔体为一低温空间与一高温空间,使红外线感测芯片与焊料环位于低温空间,吸气剂位于高温空间,以避免高温影响感测芯片。最后,移离抛光式金属遮板,使热流向焊料环,以通过焊料环贴合基座与金属框,在熔解焊料环时,利用焊料环焊接基座于金属框上,使凹槽中的空间呈高真空状态。
搜索关键词: 红外线 感测器 低温 真空 封装 方法
【主权项】:
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