[发明专利]含立方氮化硼涂层的刀具的制备方法有效
| 申请号： | 201910876274.X | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110484865B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李翠;孔帅斐;宜娟;李和鑫 | 申请（专利权）人： | 富耐克超硬材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/18;C23C14/16 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 郭佳效 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种含立方氮化硼涂层的刀具的制备方法，属于涂层刀具技术领域。本发明的含立方氮化硼涂层的刀具的制备方法，包括以下步骤：以氩气为工作气体，氮气为补偿气体，纯相聚晶立方氮化硼为靶材，通过高频脉冲磁控溅射法在刀体待沉积表面溅射立方氮化硼涂层；纯相聚晶立方氮化硼靶材的溅射功率为2800W以上。该方法操作简单，易实施，以PcBN为靶材，靶材来源广泛，沉积为CBN涂层的过程中，不需要经过化学反应或晶格重排，对沉积的条件要求不苛刻；且该方法利用高频脉冲磁控溅射法进行沉积，有利于得到高致密度的CBN涂层，进而延长刀具使用寿命；此外，该方法以氮气为补偿气体，有利于提高沉积速度，得到性能优良的CBN涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 立方 氮化 涂层 刀具 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种含立方氮化硼涂层的刀具的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n以氩气为工作气体，氮气为补偿气体，纯相聚晶立方氮化硼为靶材，通过高频脉冲磁控溅射法在刀体待沉积表面溅射立方氮化硼涂层；纯相聚晶立方氮化硼靶材的溅射功率为2800W以上。/n
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