[发明专利]一种高精度控温机构及具有该机构的OLED基板清洗机在审

专利信息
申请号: 201910874585.2 申请日: 2019-09-17
公开(公告)号: CN110756503A 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 蒋新;姚军军;窦福存;陈国才;施利君;田丹女 申请(专利权)人: 苏州晶洲装备科技有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67;G05D23/01
代理公司: 32276 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 项丽
地址: 215500 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种高精度控温机构,热交换系统包括内部循环管路和外连接装置,外连接装置穿设固定在药液槽的壁板上,外连接装置包括固定座、外接接头、压紧螺母、由令套筒和由令螺母,在药液槽的侧板上开设有容外接接头穿过的通孔,固定座装设在侧板的内侧,外接接头固定连接固定座,外接接头穿过通孔并穿出,外接接头的外侧表面开设有外螺纹,压紧螺母旋紧在外接接头的外侧,由令套筒固定在连接管的头部并扣在外接接头上,由令螺帽盖设在外接接头的顶端,且由令螺帽与外接接头间螺纹配合。本发明所设置的加热管排布均匀,冷却效率高,且所设置的外连接装置能够防止药液以及冷却液的渗漏,使得及具有该机构的OLED基板清洗机具有更高的工作安全性。
搜索关键词: 外接接头 外连接装置 固定座 压紧螺母 药液槽 侧板 套筒 通孔 工作安全性 热交换系统 穿过 螺帽 螺母 冷却效率 内部循环 外侧表面 壁板 加热管 冷却液 连接管 螺帽盖 清洗机 外螺纹 穿出 穿设 控温 螺纹 排布 旋紧 渗漏 配合
【主权项】:
1.一种高精度控温机构,其特征在于,热交换系统包括内部循环管路和外连接装置,所述内部循环管路包括设置于药液槽中的冷却盘管,外连接装置穿设固定在药液槽的壁板上,外连接装置的内侧端通过管路连接所述冷却盘管,外侧端通过连接管与外部冷却循环装置相连,所述外连接装置包括固定座、外接接头、压紧螺母、由令套筒和由令螺母,在药液槽的侧板上开设有容所述外接接头穿过的通孔,所述固定座装设在所述侧板的内侧,所述外接接头固定连接所述固定座,外接接头通过所述管路连接所述冷却盘管,所述外接接头穿过所述通孔并穿出,所述外接接头的外侧表面开设有外螺纹,所述压紧螺母旋紧在所述外接接头的外侧,用于锁死固定所述固定座与侧板,所述由令套筒固定在所述连接管的头部并扣在所述外接接头上,所述由令螺帽盖设在所述外接接头的顶端,且由令螺帽与所述外接接头间螺纹配合,用于固定所述由令套筒与所述外接接头。/n
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