[发明专利]一种自适应像差校正图像扫描显微成像方法

摘要

本发明涉及一种自适应像差校正图像扫描显微成像方法与装置，属于光学显微测量领域；本发明在图像扫描显微成像方法中引入像差校正系统进行自适应像差校正。在校正前直接利用sCOMS进行全像素预成像，并利用全像素图像形成自适应像差校正评价函数。在校正过程中实时测试图像评价函数，并利用计算机控制像差校正系统进行自适应像差校正。这一过程无须扫描，快速、简单。利用像差校正过程中的评价函数变化重新设定像素重分配过程的参数，优化像素重分配过程。利用残余像差大小来设定激光扫描显微过程中，sCMOS相机有效像元的个数。该方法可有效校正图像扫描显微成像系统的像差，提升像素重分配过程的有效性，最大限度实现图像扫描成像分辨率的提升。

主权项

1.一种自适应像差校正图像扫描显微成像装置，其特征在于，所述装置包括：激光器、准直扩束系统、第一分束器、像差校正系统、二维扫描振镜、扫描透镜、管镜、宽场照明光源、第二分束器、物镜、样品、三维位移台、探测透镜、sCOMS相机、计算机控制系统；/n其中，所述激光器发出的激光经过准直扩束系统后由第一分束器反射进入像差校正系统；通过计算机连接像差校正系统对入射光场的波面进行相位调制；经调制后的激光依次经过二维扫描振镜、扫描透镜、管镜，透过第二分束器后由物镜聚焦后对样品进行点探测；样品放置于三维位移台上；携带样品信息的反射光由物镜收集，沿原光路返回透过第一分束器，由探测透镜成像于sCMOS相机成像面；宽场照明光源通过第二分束器反射对样品进行宽场照明；完整成像过程由计算机控制系统进行控制。/n