[发明专利]感光性树脂组合物、干膜抗蚀剂在审
| 申请号： | 201910867722.X | 申请日： | 2019-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN110632825A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 朱高华 | 申请（专利权）人： | 浙江福斯特新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 33246 浙江千克知识产权代理有限公司 | 代理人： | 裴金华 |
| 地址： | 311305 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感光性树脂组合物、干膜抗蚀剂。该树脂组合物包括40～70重量份的碱可溶性树脂、20～50重量份的光聚合单体、0.5～10.0重量份光引发剂和0.1～10.0重量份添加剂，所述碱可溶性树脂含有15～35质量％的来自(甲基)丙烯酸的结构单元、通式15～55质量％的来自(甲基)丙烯酸苄基酯的结构单元、和15～55质量％的苯乙烯的结构单元。本发明的感光性树脂组合物用作干膜抗蚀剂时避免了侧蚀和渗镀的现象，得到的干膜抗蚀剂具有优异的附着力、分辨率和柔韧性。 | ||
| 搜索关键词： | 重量份 干膜抗蚀剂 感光性树脂组合物 碱可溶性树脂 附着力 丙烯酸 丙烯酸苄基酯 光聚合单体 树脂组合物 柔韧性 光引发剂 苯乙烯 分辨率 侧蚀 渗镀 添加剂 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，该树脂组合物包括40～70重量份的碱可溶性树脂、20～50重量份的光聚合单体、0.5～10.0重量份光引发剂和0.1～10.0重量份添加剂，所述碱可溶性树脂含有通式（1）15～35质量％的来自(甲基)丙烯酸的结构单元、通式（2）15～55质量％的来自(甲基)丙烯酸苄基酯的结构单元、和通式（3）15～55质量％的苯乙烯的结构单元；/n通式（1）
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