[发明专利]一种斜齿图形光栅板的制作方法及光栅板有效
| 申请号： | 201910859690.9 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110596802B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 岳力挽;毛智彪;顾大公;马潇;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北仑区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明适用于光学全息成像技术领域，提供了一种斜齿图形光栅板的制作方法及光栅板，其中，方法包括：对衬底进行直角刻蚀形成凹槽；对所述凹槽的一侧进行斜角刻蚀形成第一斜角；在形成所述第一斜角的衬底设置介质膜并进行晶圆键合形成倒斜角；对形成所述倒斜角的衬底进行斜角刻蚀形成第二斜角。本发明能够通过投影式光刻制造出一种斜齿图形光栅板，加快了光栅板的制作速度，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图形 光栅 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种斜齿图形光栅板的制作方法，其特征在于，包括步骤:/n对衬底进行直角刻蚀形成凹槽；/n对所述凹槽的一侧进行斜角刻蚀形成第一斜角；/n在形成所述第一斜角的衬底设置介质膜并进行晶圆键合形成倒斜角；/n对形成所述倒斜角的衬底进行斜角刻蚀形成第二斜角。/n
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