[发明专利]一种用于导模法生长末端封口蓝宝石管的模具和方法在审
申请号: | 201910859640.0 | 申请日: | 2019-09-11 |
公开(公告)号: | CN110468451A | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 王庆国;罗平;徐军;吴锋;唐慧丽;王东海;薛艳艳;董建树 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/34;C30B15/36 |
代理公司: | 31225 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人: | 蒋亮珠<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于导模法生长末端封口蓝宝石管的模具及方法,包括熔炉、籽晶、坩埚,以及装在坩埚内的原料和模具,所述的模具为钼质双层套管双供料通道的模具,包括外筒(1)、内筒(2)和内芯(3),外筒(1)和内筒(2)之间为外侧供料缝,内筒(2)和内芯(3)之间为内侧供料缝,外筒(1)与内筒(2)固定连接;内芯(3)可在内筒(2)内上下移动。方法包括:热场安装、投料、抽真空、充保护气、升温化料、升坩埚供料、引晶、提拉生长、升坩埚顶起模具内芯实现模具中心台平面铺料、提拉封底、降坩埚停止供料并提拉晶体脱离模具、降温退火等过程。与现有技术相比,本发明坩埚升高高度控制可通过长晶长度和模具高度位置等计算得到,生长过程可见可控,晶体质量高。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 模具 供料 内筒 内芯 提拉 外筒 封口 退火 高度控制 高度位置 供料通道 模具内芯 模具中心 上下移动 生长过程 双层套管 蓝宝石 保护气 抽真空 导模法 封底 生长 化料 可控 热场 投料 引晶 籽晶 钼质 熔炉 升高 脱离 | ||
【主权项】:
1.一种用于导模法生长末端封口蓝宝石管的模具,包括熔炉、籽晶、坩埚,以及装在坩埚内的原料和模具,其特征在于,所述的模具为钼质双层套管双供料通道的模具,包括外筒(1)、内筒(2)和内芯(3),外筒(1)和内筒(2)之间为外侧供料缝,内筒(2)和内芯(3)之间为内侧供料缝,外筒(1)与内筒(2)固定连接;内芯(3)可在内筒(2)内上下移动。/n
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