[发明专利]一种多晶硅电极隔热罩清洗装置及方法有效
| 申请号： | 201910822106.2 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN110508553B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 赵创 | 申请（专利权）人： | 新疆协鑫新能源材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/08;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 胡建华 |
| 地址： | 831100 新疆维吾尔自治区昌吉回*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅电极隔热罩清洗装置及方法，包括一组隔热罩清洗槽、凝液收集罐、以及碱液回收罐；所述隔热罩清洗槽外壁设有夹套，一组隔热罩清洗槽外壁的夹套通过管道依次串联，其一端连接蒸汽管道，另一端通过冷凝液回收管连接至凝液收集罐；凝液收集罐底部通过凝液排放管分别连接至隔热罩清洗槽，隔热罩清洗槽底部分别通过碱液回收管连接碱液回收罐，隔热罩清洗槽底部分别连接有氮气管，隔热罩清洗槽顶部连接有纯水补充管。本发明能够实现快速高效的隔热罩清洗工作，单批隔热罩清洗完成后能够快速的对清洗装置进行清洁，避免对下一批隔热罩的清洗产生污染，实现隔热罩批量连续化清洗，为多晶硅生产产能的提高提供条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 电极 隔热 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅电极隔热罩清洗装置，其特征在于，包括一组隔热罩清洗槽(1)、凝液收集罐(4)、以及碱液回收罐(10)；所述隔热罩清洗槽(1)外壁设有夹套，一组隔热罩清洗槽外壁的夹套通过管道依次串联，其一端连接蒸汽管道(2)，另一端通过冷凝液回收管(3)连接至凝液收集罐(4)；/n所述凝液收集罐(4)底部通过凝液排放管(5)分别连接至隔热罩清洗槽(1)；/n所述隔热罩清洗槽(1)底部分别通过碱液回收管(9)连接碱液回收罐(10)；/n所述隔热罩清洗槽(1)底部分别连接有氮气管(8)；/n所述隔热罩清洗槽(1)顶部连接有纯水补充管(11)；/n所述蒸汽管道(2)上设有蒸汽控制阀(2a)；所述凝液排放管(5)上设有凝液排放阀(5a)；所述氮气管(8)上设有氮气控制阀(8a)；所述碱液回收管(9)上设有碱液排放阀(9a)；所述纯水补充管(11)上设有纯水补充阀(11a)。/n
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