[发明专利]一种压电陶瓷连接的刚柔耦合运动平台控制方法

摘要

为了弥补现有技术中的刚柔耦合运动平台扰动无法完全抵消的技术问题，本发明提供一种压电陶瓷连接的刚柔耦合运动平台控制方法及应用。本发明所述方法以规划的位移和速度为参考输入，以工作平台的实际位移和速度作为反馈，以直线电机是否停止为切换控制的判断条件，分别建立相互独立的两个闭环控制系统。将平台的动力学响应方程等效转换成理想无扰形式的同时，提高刚柔耦合平台的刚度，减小系统带宽，从而降低了微平台在大范围高速运动过程中的低频振动，提高控制器的跟随性与响应时间，并在定位补偿阶段切换控制，由压电陶瓷促动器进行运动补偿，避免了大刚度下微平台驱动能力的不足，实现了高速精密运动。