[发明专利]单向弯曲敏感传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910810091.8 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110487168A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 张旻;李萌萌;梁家铭 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28;C30B33/10;C30B29/06;C23C14/30;C23C14/20;C23F1/02 |
| 代理公司： | 44223 深圳新创友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王震宇<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种单向弯曲敏感传感器及其制备方法，该传感器包括聚合物基底、叉指电极以及聚合物弹性体介电层；所述叉指电极覆盖在所述聚合物基底的表面；所述聚合物弹性体介电层具有向上凸起的微结构阵列，并覆盖在所述叉指电极的表面。此传感器结构简单，可实现对弯曲的方向和角度的测量，同时对法向压力不敏感，可避免法向压力带来的干扰，提高了测量的准确性，也不需要额外的校准，能够简便而可靠测量单向弯曲。 | ||
| 搜索关键词： | 叉指电极 聚合物弹性体 单向弯曲 法向压力 聚合物基 介电层 测量 传感器结构 敏感传感器 微结构阵列 可靠测量 向上凸起 不敏感 校准 传感器 覆盖 制备 | ||
【主权项】：
1.一种单向弯曲敏感传感器，其特征在于，包括聚合物基底、叉指电极以及聚合物弹性体介电层；所述叉指电极覆盖在所述聚合物基底的表面；所述聚合物弹性体介电层具有向上凸起的微结构阵列，并覆盖在所述叉指电极的表面。/n
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