[发明专利]一种基于有机场效应晶体管的柔性压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910810036.9 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110514327B | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 于军胜;侯思辉;张晓华;邵炳尧 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01L9/00;H01L51/05 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 轩勇丽 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于有机场效应晶体管的柔性压力传感器及其制备方法，所述柔性压力传感器为顶栅底接触式结构，所述柔性压力传感器从下到上依次为衬底、生物材料半导体层、植物介电层、栅电极以及封装层，在所述生物材料半导体层内且在位于所述的衬底上表面上分别设置有源电极以及漏电极所，述生物材料半导体层由生物半导体材料制成，所述植物介电层由植物叶子或者花瓣生物材料制成。本发明有效杜绝了有毒试剂的使用，同时弹性三维细胞壁网络结构的存在，更容易感应外界的压力，提升了有机场效应管的压力传感响应，实现器件对压力的高灵敏高响应探测以及稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 有机 场效应 晶体管 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于有机场效应晶体管的柔性压力传感器，所述柔性压力传感器为顶栅底接触式结构，其特征在于，所述柔性压力传感器从下到上依次为衬底、生物材料半导体层、植物介电层、栅电极以及封装层，在所述生物材料半导体层内且在位于所述的衬底上表面上分别设置有源电极以及漏电极，所述植物介电层由植物叶子或者花瓣生物材料制成。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910810036.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
