[发明专利]用于可替换的灯的适配器有效
申请号: | 201910809633.X | 申请日: | 2014-11-18 |
公开(公告)号: | CN110645553B | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 约瑟夫·M·拉内什;欧勒格·V·塞雷布里安诺夫 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | F21V23/06 | 分类号: | F21V23/06;H01L21/67 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的实施方式大体关于一种改进的适配器,所述适配器用于在快速热处理(RTP)腔室中用作热辐射源的简化灯。在一个实施方式中,提供有灯组件。灯元件包含具有灯丝设在所述舱体中的舱体;按压密封件,耦接至舱体;及适配器,具有插座,所述插座经调整轮廓以接收所述按压密封件的至少一部分,其中所述按压密封件可移除地与所述适配器啮合。 | ||
搜索关键词: | 用于 替换 适配器 | ||
【主权项】:
1.一种灯组件,包括:/n灯元件,包括第一啮合特征结构;/n第一导电引线,从所述灯元件延伸;/n第二导电引线,从所述灯元件延伸;/n适配器,包括第二啮合特征结构,所述第二啮合特征结构是可操作的以与所述第一啮合特征结构啮合或脱离,所述适配器具有插座,所述插座经调整轮廓以容纳所述灯元件的一部分,所述插座具有:/n第一通道,所述第一通道延伸通过所述适配器并经调整尺寸以允许所述第一导线引线通过所述第一通道;和/n第二通道,所述第二通道延伸通过所述适配器并经调整尺寸以允许所述第二导线引线通过所述第二通道;和/n第一绝缘套筒,所述第一绝缘套筒具有附接至所述第一导电引线的第一端和附接至第一导电销的第二端,所述第一绝缘套筒延伸通过所述第一通道并具有沿着所述第一绝缘套筒的内表面的第一侧沉积的第一金属迹线。/n
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