[发明专利]用于纳米压印的印模在审
| 申请号： | 201910808597.5 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110874011A | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 朴昇元;吕伦钟;李尚勋;张大焕;郑寅哲;赵亨彬 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李强;李静波 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种用于纳米压印的印模，所述印模包括基体基底、设置在所述基体基底上并具有不同宽度的第一图案部分和第二图案部分以及具有不同宽度的第三图案部分和第四图案部分。所述第一图案部分至所述第四图案部分中的每个包括多个纳米图案，并且所述第一图案部分、所述第三图案部分、所述第二图案部分和所述第四图案部分设置为在第一方向上按顺序彼此相邻地布置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 纳米 压印 印模 | ||
【主权项】：
暂无信息
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