[发明专利]一种基于主动隔振的宏微双驱动精密定位装置及控制方法

摘要

本发明公开了一种基于主动隔振的宏微双驱动精密定位装置及控制方法，包括机械运动本体单元、检测单元及驱动控制单元；所述机械运动本体单元包括定位装置底座、U形台、微动平台、有铁直线电机及APA驱动器；所述检测单元包括用于检测U形台位移量的光栅位移传感器、用于检测微动平台位移量的激光干涉仪及用于检测微动平台相对U形台水平方向振动量的电容位移传感器；所述控制单元包括直线电机伺服放大器、APA线性放大器、运动控制卡、计算机及数据采集卡，该装置采用主动振动的方式进行隔振，有效的减少了因机器振动对定位平台的影响，能进一步地实现更高精度的定位。

主权项

1.一种基于主动隔振的宏微双驱动精密定位装置，其特征在于，包括机械运动本体单元、检测单元及驱动控制单元；所述机械运动本体单元包括定位装置底座、U形台、微动平台、有铁直线电机及APA驱动器；所述定位装置底座的凸台上固定两条直线导轨，每根直线导轨上设有两个滑块；所述U形台由两块相同的U形台侧板和U形底板构成，两块U形台侧板相互平行并垂直固定于U形台底板上；U形台与导轨上的滑块连接，相对于定位装置底座滑动；所述微动平台通过柔性铰链设置在U形台底板的上方；所述有铁直线电机的定子固定在定位装置底座上，其动子固定在U形台底板的下面；所述APA驱动器一端连接U形台侧板，另一端通过连接铰链与微动平台连接；所述检测单元包括用于检测U形台位移量的光栅位移传感器、用于检测微动平台位移量的激光干涉仪及用于检测微动平台相对U形台水平方向振动量的电容位移传感器；所述控制单元包括直线电机伺服放大器、APA线性放大器、运动控制卡、计算机及数据采集卡，所述检测单元检测信号输出至数据采集卡，进一步输入至计算机，所述计算机与运动控制卡相互连接，所述运动控制卡分别输出信号至直线电机伺服放大器及APA线性放大器，进一步驱动有铁直线电机及APA驱动器。