[发明专利]一种具有空间分辨能力的深紫外角分辨光电子能谱光源有效
| 申请号： | 201910802592.1 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110492347B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 张超凡;毛元昊;郭川;黄坤;陈宇林 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | H01S3/109 | 分类号： | H01S3/109;H01S3/10;G01N23/2273 |
| 代理公司： | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人： | 董惠文 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 提供了一种具有空间分辨能力的深紫外角分辨光电子能谱光源，包括依次连接的连续激光器(1)、基频光调节模块、深紫外激光产生模块、深紫外激光整形与准直模块、深紫外激光功能实现模块，其中后三个模块设置于真空腔内。基频光调节模块主要用于调节由连续激光器(1)输出的基频光功率与偏振方向；深紫外激光产生模块用于构建基频光与KBBF晶体相互作用产生倍频激光所需的必要环境；深紫外激光整形与准直模块用于对倍频激光进行光束整形和扩束准直；深紫外激光功能实现模块用于对深紫外激光的偏振特性调整，然后对深紫外激光的亚微米级聚焦。本发明构建出的光源同时具备高能量分辨能力和高空间分辨能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 空间 分辨 能力 深紫 外角 光电子 光源 | ||
【主权项】：
1.一种具有空间分辨能力的深紫外角分辨光电子能谱光源，其特征在于，它包括依次连接的连续激光器(1)、基频光调节模块、深紫外激光产生模块、深紫外激光整形与准直模块和深紫外激光功能实现模块；/n所述基频光调节模块用于对连续激光器(1)产生激光的基频光功率与偏振方向进行调整；/n所述深紫外激光产生模块包括KBBF晶体(11)，用于针对经所述基频光调节模块调整后的激光构建基频光与KBBF晶体(11)相互作用产生倍频激光所需的包括满足激发功率阈值与相位匹配条件的必要环境，所述匹配条件是指光束偏振方向和入射角度与KBBF晶体(11)的晶格匹配；/n所述深紫外激光整形与准直模块用于对倍频激光进行整形，并对整形后的光束进行扩束准直；/n所述深紫外激光功能实现模块用于对激光的偏振特性调整，同时对激光进行亚微米级聚焦；/n所述连续激光器(1)的输出波长为355nm；/n所述深紫外激光产生模块、深紫外激光整形与准直模块和深紫外激光功能实现模块设置于真空腔(8)内；/n经所述深紫外激光功能实现模块处理后输出的激光波长177nm，光子能量7eV，聚焦光斑具有1um空间分辨能力。/n
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