[发明专利]具有光束控制功能的光学测量装置

摘要

本发明涉及一种具有光束控制功能的光学测量装置，属于光学非线性测量装置技术领域。解决了现有技术中多波段光学非线性测量装置成本高，结构复杂，测量误差大等技术问题，进一步扩大测量谱段范围。本发明的光学非线性测量装置，包括激光准直系统、分束镜、聚焦光学系统、电动位移平台、光阑片、第一功率计、主控计算机、数据采集仪、第二功率计和第一透镜。该光学非线性测量装置能够对材料的非线性吸收系数和非线性折射系数进行实时测量，测量波长谱段宽，原理简单，测量精度高，成本低，同时具有对光学元件的膜系损伤阈值的测量功能。

主权项

1.具有光束控制功能的光学测量装置，其特征在于，包括激光准直系统(2)、分束镜(3)、聚焦光学系统(4)、电动位移平台(5)、光阑片(7)、第一功率计(8)、主控计算机(9)、数据采集仪(10)、第二功率计(11)和第一透镜(12)；/n所述激光准直系统(2)包括前镜组和后镜组，前镜组由第二透镜(2-1)和第三透镜(2-2)组成，后镜组由第四透镜(2-3)和第五透镜(2-4)组成，第二透镜(2-1)、第三透镜(2-2)、第四透镜(2-3)和第五透镜(2-4)沿光的传播方向从前至后同轴设置，且第二透镜(2-1)和第三透镜(2-2)间隔固定，第四透镜(2-3)和第五透镜(2-4)间隔固定，前镜组能够整体相对于后镜组轴向移动；激光准直系统(2)将入射的激光准直发射至分束镜(3)；/n所述分束镜(3)将经激光准直系统(2)准直入射的激光分成两束，一束经第一透镜(12)会聚到第二功率计(11)上，另一束依次经聚焦光学透镜、测试样品(6)、光阑片(7)后入射第一功率计(8)；/n所述聚焦光学系统(4)包括变倍组、补偿组和调焦组，变倍组由第六透镜(4-1)和第七透镜(4-2)组成，补偿组由第八透镜(4-3)、第九透镜(4-4)和第十透镜(4-5)组成，调焦组由第十一透镜(4-6)和第十二透镜(4-7)组成，第六透镜(4-1)、第七透镜(4-2)、第八透镜(4-3)、第九透镜(4-4)、第十透镜(4-5)、第十一透镜(4-6)和第十二透镜(4-7)沿光的传播方向从前至后同轴设置，且第六透镜(4-1)和第七透镜(4-2)间隔固定，第八透镜(4-3)、第九透镜(4-4)和第十透镜(4-5)间隔固定，第十一透镜(4-6)和第十二透镜(4-7)间隔固定，变倍组、补偿组和调焦组分别能够整体相对于后镜组轴向移动；/n所述电动位移平台(5)用于固定测试样品(6)，并能够带动测试样品(6)在焦点处沿Z轴移动，所述Z轴为光轴；/n所述光阑片(7)设置在测试样品(6)和第一功率计(8)之间，通过调整光阑开孔大小，能够调整光阑面的光斑尺寸与光阑开孔尺寸的大小关系；/n所述第一功率计(8)实时检测经过测试样品(6)后的激光的激光功率；/n所述第二功率计(11)实时检测第一透镜(12)会聚的激光的激光功率；/n所述数据采集仪(10)与主控计算机(9)、第一功率计(8)和第二功率计(11)均连接，采集第一功率计(8)和第二功率计(11)的激光功率数据，并将激光功率数据传输至主控计算机(9)；/n所述主控计算机(9)与电动位移平台(5)和数据采集仪(10)均连接，主控计算机(9)控制电动位移平台(5)工作，接收数据采集仪(10)传输的激光功率数据，并对激光功率数据进行处理计算测试样品(6)的非线性吸收系数和非线性折射系数或者在确定测试样品(6)发生表面膜系损伤时，给出测试样品(6)表面膜系的损伤阈值。/n