[发明专利]压电器件、恢复压电器件的劣化器件性能的方法及系统在审
| 申请号： | 201910789075.5 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110943155A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大卡尔尼斯基;郑创仁;施启元;张凯峯;黄士芬;邓伊筌;蔡易恒;林佑儒;廖彦杰 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/22;H01L41/29 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 在一些实施例中提供一种压电器件。所述压电器件包括半导体衬底。在半导体衬底之上设置有第一电极。在第一电极上设置有压电结构。在压电结构上设置有第二电极。在半导体衬底之上设置有加热元件。加热元件被配置成将压电结构加热到恢复温度达一时间段，其中将压电结构加热到恢复温度达所述时间段会改善压电器件的劣化的电特性。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 恢复 性能 方法 系统 | ||
【主权项】：
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