[发明专利]一种钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910782416.6 申请日: 2019-08-23
公开(公告)号: CN110607501B 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: 王占杰 申请(专利权)人: 沈阳工业大学
主分类号: C23C14/08 分类号: C23C14/08;C23C14/28
代理公司: 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 代理人: 张晨
地址: 110023 辽宁省沈*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明提供了一种钛酸钡‑钌酸锶纳米复合薄膜材料及其制备方法,所述材料组成的体积比为SrRuO3:2~9%,BaTiO3:91~98%,该材料微结构的特点是SrRuO3纳米粒子均匀地分布在BaTiO3基体上。本发明的钛酸钡‑钌酸锶纳米复合薄膜材料的优点为:介电常数与纯钛酸钡薄膜相比增加了10~24%;并且具有良好的铁电极化性能,其剩余极化强度达到40.3μC/cm2,饱和极化强度达到47.8μC/cm2,与钛酸钡薄膜对比剩余极化强度提高了950%,饱和极化强度提高了140%。该复合薄膜作为无铅铁电材料在铁电随机存储器、薄膜电容器、传感器、致动器等集成铁电器件上具有广阔的应用前景。
搜索关键词: 一种 钛酸钡 钌酸锶 纳米 复合 薄膜 材料 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种钛酸钡-钌酸锶纳米复合薄膜材料,其特征在于:该复合薄膜材料组成的体积比为SrRuO
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