[发明专利]MEMS换能器、MEMS麦克风以及制造MEMS换能器的方法在审
| 申请号： | 201910775916.7 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN112423210A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 熊伟;何飞;饭岛淳 | 申请（专利权）人： | 新科实业有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 深圳永慧知识产权代理事务所(普通合伙) 44378 | 代理人： | 宋鹰武 |
| 地址： | 中国香港新界沙田香*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 公开了MEMS换能器、MEMS麦克风以及制造MEMS换能器的方法。MEMS换能器具有元件基底、多个悬臂梁和梁连接器。悬臂梁分别具有固定在元件基底上的基底部件和不固定在元件基底上的自由梁部件，并且悬臂梁通过层压压电材料膜和第一、第二电极膜形成。进一步，自由梁部件具有梁尖端，并且其以从基部部件到所述梁尖端宽度逐渐减小的锥形形状形成。所有悬臂梁的梁尖端朝向单个尖端点会聚，梁连接器形成在包括悬臂梁的梁尖端的会聚区域中，使得会聚在会聚区域中的梁尖端中的至少两个连接。 | ||
| 搜索关键词： | mems 换能器 麦克风 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
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