[发明专利]制作空气脉冲产生元件的方法有效
| 申请号： | 201910757976.6 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110839199B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 洪盟焜;罗炯成;张俊羿 | 申请（专利权）人： | 知微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧;任默闻 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制作空气脉冲产生元件的方法。所述方法包括提供包括振膜的薄膜层；在薄膜层与第一板体之间形成第一腔室；图案化薄膜层，以形成多个阀膜，其中振膜与阀膜由薄膜层所形成；在薄膜层与第二板体之间形成第二腔室；以及在第一板体与第二板体中形成多个通道。借此，可降低制作复杂度并提升良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 空气 脉冲 产生 元件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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