[发明专利]一种用于稀薄大气空间的次声波传感器及声探测载荷舱

摘要

本发明涉及差压型硅微压阻传感技术领域，具体涉及一种用于稀薄大气空间的次声波传感器，包括：恒温壳体及设置在壳体内的总通气管、第一通气管、第二通气管、次声波差压检测器、若干谐振腔和通气管路控制模块；所述次声波差压检测器包括：空腔体、第一平衡腔通气管、MEMS敏感膜和第二平衡腔通气管；空腔体内设置MEMS敏感膜，将空腔体分为第一平衡腔和第二平衡腔，用于根据感知的第一平衡腔和第二平衡腔的压力值，检测第一平衡腔与第二平衡腔之间的压力差，并将该压力差转换为电信号向外输出；第一平衡腔上设有第一通气管，其与第一声容腔连通；第二平衡腔上设有第二通气管，其通过总通气管与外界大气压连通；若干谐振腔之间通过若干电控阀进行级联。

主权项

1.一种用于稀薄大气空间的次声波传感器，其特征在于，该次声波传感器包括：恒温壳体及设置在壳体内的总通气管、第一通气管、第二通气管、次声波差压检测器、若干谐振腔和通气管路控制模块；所述次声波差压检测器包括：空腔体、第一平衡腔通气管、MEMS敏感膜和第二平衡腔通气管；/n空腔体内设置MEMS敏感膜，将空腔体分为第一平衡腔和第二平衡腔，用于根据感知的第一平衡腔和第二平衡腔的压力值，检测第一平衡腔与第二平衡腔之间的压力差，并将该压力差转换为电信号向外输出；第一平衡腔上设有第一通气管，第一通气管与第一声容腔连通；第二平衡腔上设有第二通气管，第二通气管通过总通气管与外界大气压连通；若干谐振腔之间通过若干电控阀进行级联；/n所述通气管路控制模块，用于控制总通气管、电控阀、第一通气管、第二通气管的通断；还用于通过控制电控阀的通断，基于外界大气的大气压力，获得最优的谐振腔的声容和声阻抗滤波参数，调整级联的谐振腔的数量，获得最优的谐振腔的组合数量。/n