[发明专利]化学增幅抗蚀剂组合物和图案化方法在审
| 申请号： | 201910732397.6 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110824840A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 畠山润;大桥正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供化学增幅抗蚀剂组合物和图案化方法。化学增幅抗蚀剂组合物包括：猝灭剂，其含有带有碘代或溴代芳环的羧酸的铵盐；和产酸剂，该化学增幅抗蚀剂组合物显示出增感效果和酸扩散抑制效果并且形成具有改善的分辨率、LWR和CDU的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 增幅 抗蚀剂 组合 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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