[发明专利]一种高致密度复合材料包壳管的快速致密化方法及其装置有效
| 申请号： | 201910727873.5 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110428918B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 张瑞谦;何宗倍;付道贵;李鸣;邱绍宇;陶涛;何琨 | 申请（专利权）人： | 中国核动力研究设计院 |
| 主分类号： | G21C21/00 | 分类号： | G21C21/00;G21C3/07;C23C16/32;C23C16/455 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 胡晓丽 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种高致密度复合材料包壳管的快速致密化方法，依次包括以下工序：工序A，沉积温度为1000～1050℃，沉积压力为200～1000Pa，H |
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| 搜索关键词： | 一种 致密 复合材料 包壳管 快速 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种高致密度复合材料包壳管的快速致密化方法，其特征在于，依次包括以下工序：工序A，沉积温度为1000～1050℃，沉积压力为200～1000Pa，H2/MTS的摩尔体积配比在6.5～10范围；工序B，沉积温度为1050～1100℃，沉积压力为200～1000Pa，H2/MTS的摩尔体积配比在6.5～10范围；工序C，沉积温度为1050～1100℃，沉积压力为400～1500Pa，H2/MTS的摩尔体积配比在6.5～10范围；工序D，沉积温度为1050～1200℃，沉积压力为400～1500Pa，H2/MTS的摩尔体积配比在4～10范围；原料气包括MTS、Ar和H2，以MTS为先驱体原料，以Ar作为稀释气，以H2作为载气和稀释气。
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