[发明专利]一种晶圆激光开槽装置及其工作方法

摘要

一种晶圆激光开槽装置及其工作方法，该装置包括激光器、第一光阑、扩束准直镜、第二光阑、反射镜、衍射分光镜、电动旋转位移台、聚焦镜和运动平台，激光器发射出激光束，激光束依次经过第一光阑、扩束准直镜、第二光阑、反射镜和衍射分光镜，衍射分光镜输出两束性质相同的激光束，再经过聚焦镜，两束激光束聚焦于放置在运动平台上的待加工晶圆上形成两个聚焦光斑，通过旋转电动旋转位移台控制衍射分光镜的旋转角度，改变两个聚焦光斑与切割道方向的夹角，进而控制两个聚焦光斑在垂直切割道方向的距离，即可改变切割道的间距。

主权项

1.一种晶圆激光开槽装置，其特征在于其包括激光器、第一光阑、扩束准直镜、第二光阑、反射镜、衍射分光镜、电动旋转位移台、聚焦镜和运动平台，所述激光器、第一光阑、扩束准直镜、第二光阑和反射镜沿水平方向同轴设置，所述衍射分光镜、电动旋转位移台、聚焦镜和运动平台由上至下依次同轴设置在反射镜的下方，且所述衍射分光镜安装在电动旋转位移台上，待加工晶圆放置于运动平台上；激光器发射出激光束，激光束依次经过第一光阑、扩束准直镜、第二光阑、反射镜和衍射分光镜，衍射分光镜输出两束性质相同的激光束，再经过聚焦镜，两束激光束聚焦于放置在运动平台上的待加工晶圆上形成两个聚焦光斑，通过旋转电动旋转位移台控制衍射分光镜的旋转角度，改变两个聚焦光斑与切割道方向的夹角，进而控制两个聚焦光斑沿垂直切割道方向的距离，即可改变切割道的间距。