[发明专利]一种磁传感器的制造方法及磁传感器有效
| 申请号： | 201910713225.4 | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN110568385B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁传感器的制造方法及磁传感器，包括以下步骤：提供永磁体模板，提供待退火的磁阻单元，将永磁铁模板与磁阻单元配合在一起，并使磁阻图案阵列中的磁阻与永磁体图案阵列中的永磁体一一对应；退火步骤：将贴合后的永磁铁模板与磁阻单元放入退火炉中进行加热、退火，以固定磁阻的钉扎方向。根据本公开的一个实施例，可以降低制造成本，又可以在晶圆上制作多类型的磁传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种磁传感器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：/n提供永磁体模板，所述永磁体模板包括第一基底以及布置在第一基底上的永磁体图案阵列；/n提供待退火的磁阻单元，所述磁阻单元包括第二基底以及布置在第二基底上的磁阻图案阵列；且所述磁阻图案阵列与永磁体图案阵列相对应；/n对准步骤：将永磁铁模板与磁阻单元配合在一起，并使磁阻图案阵列中的磁阻与永磁体图案阵列中的永磁体一一对应；/n退火步骤：将贴合后的永磁铁模板与磁阻单元放入退火炉中进行加热、退火，以固定磁阻的钉扎方向；所述永磁体为与其对应的磁阻提供固定钉扎方向的外磁场。/n
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