[发明专利]多光束激光回馈干涉仪在审
| 申请号： | 201910710456.X | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN110487172A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 张书练 | 申请（专利权）人： | 南京法珀仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 11606 北京华进京联知识产权代理有限公司 | 代理人： | 哈达<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 210019 江苏省南京市建邺区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种多光束激光回馈干涉仪，包括激光组件、分光镜、声光移频组件、光束调整组件、扩束准直镜、棱镜组件、参考目标、光电探测组件和信号处理系统。多光束激光回馈干涉仪通过设置激光组件可以输出六束同向且平行的激光，六束平行激光先后经过分光镜、声光移频组件、光束调整组件、扩束准直镜后，其中五路激光作为测量光入射所述待测目标，一路光作为参考光入射参考目标，可以实现对所述待测目标位移、俯仰角、偏摆角的测量。结合棱镜组件可以对垂直于位移方向且相互垂直的两个方向的直线度的测量。综上，多光束激光回馈干涉仪可以实现对位移、俯仰角、偏摆角和垂直于位移方向且相互垂直的两个方向的直线度，共五个自由度的同时测量。 | ||
| 搜索关键词： | 多光束激光 回馈干涉仪 扩束准直镜 参考目标 待测目标 光束调整 激光组件 棱镜组件 测量 垂直的 分光镜 俯仰角 偏摆角 直线度 入射 声光 移频 激光 垂直 光电探测组件 信号处理系统 平行激光 参考光 测量光 同向 平行 输出 申请 | ||
【主权项】：
1.一种多光束激光回馈干涉仪，其特征在于，包括：/n激光组件(10)，包括半导体激光器阵列(110)和微片激光晶体(120)，用于输出六束同向且平行的激光，其中包括五束测量光和一束参考光，且第一测量光与第二测量光位于同一竖直面内，所述第二测量光与第三测量光位于同一水平面内；/n分光镜(20)，设置于从所述激光组件(10)出射激光的光路上，用于将入射光线分为反射光和透射光，所述反射光用于光强探测和信号解调，所述透射光用于经待测目标反射后生成回馈光；/n声光移频组件(30)，设置于从所述分光镜(20)出射所述透射光的光路上，用于对所述透射光进行移频处理；/n光束调整组件(410)，设置于从所述声光移频组件(30)出射的光路上，用于减小所述透射光的光束有效截面半径和光束发散角；/n扩束准直镜(420)，设置于从所述光束调整组件(410)出射的光路上，用于扩束并减小所述透射光的光束发散角；/n棱镜组件(50)，设置于从所述扩束准直镜(420)出射的光路上，用于使入射的所述测量光沿原光路返回，在使用时所述棱镜组件(50)与所述待测目标连接；/n参考目标(60)，靠近并可调整与所述待测目标的距离，且垂直于来自所述扩束准直镜(420)的出射光，一束所述透射光被所述参考目标(60)反射后沿原光路返回所述激光组件(10)作为所述参考光，其余五束所述透射光被所述待测目标反射后沿原光路返回所述激光组件(10)作为所述测量光，所述参考光和所述测量光分别返回所述激光组件(10)与激光器腔内光场干涉，形成的干涉光又出射，再到达所述参考目标(60)和所述待测目标，如此循环；/n光电探测组件(70)，设置于从所述分光镜(20)出射所述反射光的光路上，用于探测所述干涉光并转化为电信号；以及/n信号处理系统(80)，与所述光电探测组件(70)电连接，用于接收所述光电探测组件(70)输出的电信号，并计算所述待测目标的位移、俯仰角、偏摆角和两个方向的直线度。/n
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