[发明专利]琼斯椭偏仪的标定装置及方法有效
| 申请号： | 201910706583.2 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112304873B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 郁毅敏;艾纳琵;葛兰戈;王健 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种琼斯椭偏仪的标定装置及标定方法，包括沿光路顺次设置的第一标定汇聚镜组、标定偏振镜组和第二标定汇聚镜组，其中，所述标定偏振镜组包括多个能够绕光轴相对转动的标定偏振元件，多个所述标定偏振元件中具有一个第一标定偏振片及至少两个第一标定波片，在进行标定时，先从所述偏振态生成镜组至所述偏振态检测镜组之间的能量传递函数，然后调整多个所述标定偏振元件的方位角得到多组光强分布，根据多组光强分布求解能量传递函数得到所述琼斯椭偏仪的偏振态调制矩阵，从而实现了琼斯椭偏仪的标定，并且标定的精度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 琼斯 椭偏仪 标定 装置 方法 | ||
【主权项】：
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