[发明专利]光合波器的制造装置

摘要

本发明公开光合波器的制造装置。光合波器的制造装置中，光合波器具备：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜，设置于第一主面；以及光学滤光器，设置于第二主面，所述制造装置具备：工件设置部，用于进行光合波器的装配作业；光束照射式角度测定部，向工件设置部的基准面照射光束，测定基准面的角度θa，向反射镜照射光束，测定反射镜的角度θb，向基底的第二主面照射光束，测定第二主面的角度θc，向光学滤光器照射光束，测定光学滤光器的角度θd；角度调整部，调整反射镜的角度以使角度θb与角度θa一致，调整光学滤光器的角度以使角度θc与角度θd一致；以及部件固定部，将反射镜及光学滤光器固定到基底。

主权项

1.一种光合波器的制造装置，所述光合波器具备：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜，设置于第一主面；以及光学滤光器，设置于第二主面，其特征在于，所述制造装置具备：工件设置部，用于进行光合波器的装配作业；光束照射式角度测定部，向所述工件设置部的基准面照射光束，测量在该基准面反射的光束的反射方向来测定该基准面的角度θa，向该反射镜照射光束，测量在该反射镜反射的光束的反射方向来测定该反射镜的角度θb，向所述基底的第二主面照射光束，测量在该第二主面反射的光束的反射方向来测定该第二主面的角度θc，向所述光学滤光器照射光束，测量在所述光学滤光器反射的光束的反射方向来测定所述光学滤光器的角度θd；角度调整部，调整所述反射镜的角度以使角度θb与角度θa一致，调整所述光学滤光器的角度以使角度θc与角度θd一致；以及部件固定部，将所述反射镜及所述光学滤光器固定到所述基底。