[发明专利]一种铁电三位存储器、制备方法及其操作方法有效

专利信息
申请号: 201910700991.7 申请日: 2019-07-31
公开(公告)号: CN110429085B 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 江安全;汪超;柴晓杰;江钧 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: H01L27/11507 分类号: H01L27/11507;H01L27/11509;G11C11/22
代理公司: 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 代理人: 周新楣
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种铁电三位存储器、制备方法及其操作方法,所述铁电三位存储器包括铁电薄膜层、铁电存储单元和读写电极层,所述铁电存储单元设置于铁电薄膜层上方,所述读写电极层被间隙分割成两部分,形成第一电极和第二电极,所述第一电极和第二电极中至少之一搭在所述铁电存储单元表面的长度大于零且小于铁电存储单元的宽度。与现有技术相比,本发明具有三位信息存储功能,能够提高存储单元的存储密度,具有制备简单、成本低廉等优点。
搜索关键词: 一种 三位 存储器 制备 方法 及其 操作方法
【主权项】:
1.一种铁电三位存储器,包括铁电薄膜层(103)、铁电存储单元(105)和读写电极层(107),所述铁电存储单元(105)设置于铁电薄膜层(103)上方,所述读写电极层(107)被间隙(109)分割成两部分,形成第一电极(107A)和第二电极(107B),其特征在于,所述第一电极(107A)和第二电极(107B)中至少之一搭在所述铁电存储单元(105)表面的长度大于零且小于铁电存储单元(105)的宽度。
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