[发明专利]结合色散共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法有效
| 申请号： | 201910698151.1 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN110487205B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 胡摇;郝群;宁悦文;陶鑫 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/16 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开的结合色散共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法，属于非球面测量领域。本发明实现方法为：获取被测非球面名义参数，利用获取被测非球面名义参数，结合光学设计软件设计并加工部分补偿透镜与色散物镜。根据部分补偿透镜和色散物镜建立结合色散共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统。利用非球面参数误差干涉测量系统获得最佳补偿位置变化。测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化，并计算面形变化四次分量的系数。根据最佳补偿位置距离变化方程和系数方程计算非球面的面形参数误差，即实现对非球面的面形参数误差的测量。本发明能够实现非接触、高精度的位移测量，在测量中无需移动透镜组的位置，具有操作简单、易于测量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 结合 色散 定位 球面 参数 误差 干涉 测量方法 | ||
【主权项】：
1.结合色散共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法，其特征在于：包括如下步骤：/n步骤1：获取被测非球面名义参数，利用获取被测非球面名义参数，结合光学设计软件设计部分补偿透镜P，得到设计后的部分补偿透镜P的设计参数，并构建非球面参数误差干涉测量系统模型；/n步骤2：根据步骤1得到的部分补偿透镜P的设计参数，加工出部分补偿透镜P的实物，并根据部分补偿透镜P的设计参数设计并加工色散物镜A的实物；/n步骤3：根据步骤2得到的部分补偿透镜P和色散物镜A建立结合色散共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统；/n步骤4：利用步骤3建立的结合色散共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统，获得最佳补偿位置变化Δd；/n步骤5：测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化，并计算面形变化S4分量的系数ΔD4；/n步骤6：根据联立的最佳补偿位置方程和面形变化四次分量的系数方程计算非球面的面形参数误差，即实现对非球面的面形参数误差的测量。/n
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