[发明专利]一种WAFER片音叉频率测试机在审
| 申请号： | 201910664252.7 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110274684A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 喻信东 | 申请（专利权）人： | 湖北泰晶电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 441300 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种WAFER片音叉频率测试机，包括检测装置和载盘平台，检测装置包括基座，基座上设置有连接板，连接板上通过探针连接块固定有探针，载板平台位于检测装置一侧，其上放置有WAFER片载板，载板平台下方设置有移动座，载板平台与移动座之间设置有Y轴导向轨道，移动座下方设置有X轴导向轨道，移动座上连接有X轴电机丝杆机构，X轴电机丝杆机构带动移动座沿X轴导向轨道做左右水平运动，载板平台上连接有Y轴电机丝杆机构，Y轴电机丝杆机构带动载板平台沿Y轴导向轨道做前后运动，载板平台相邻两侧分别设置有用于夹持WAFER片载板的X向顶杆、Y向顶杆，载板平台上还连接有控制其升降的Z轴电机。 | ||
| 搜索关键词： | 移动座 导向轨道 丝杆机构 载板 检测装置 音叉频率 测试机 连接板 片载板 顶杆 前后运动 水平运动 探针连接 夹持 探针 载盘 升降 | ||
【主权项】：
1.一种WAFER片音叉频率测试机，包括检测装置（16）和载盘平台（17），所述检测装置（16）包括基座（13），基座（13）上设置有连接板（14），连接板（14）上通过探针连接块（15）固定有探针（11），载板平台（17）位于检测装置（16）一侧，其上放置有WAFER片载板（5），其特征在于：所述载板平台（17）下方设置有移动座（18），载板平台（17）与移动座（18）之间设置有Y轴导向轨道（4），移动座（18）下方设置有X轴导向轨道（2），移动座（18）上连接有X轴电机丝杆机构（1），X轴电机丝杆机构（1）带动移动座（18）沿X轴导向轨道（2）做左右水平运动，载板平台（17）上连接有Y轴电机丝杆机构（3），Y轴电机丝杆机构（3）带动载板平台（17）沿Y轴导向轨道（4）做前后运动，载板平台（17）相邻两侧分别设置有用于夹持WAFER片载板（5）的X向顶杆（7）、Y向顶杆（9），载板平台（17）上还连接有控制其升降的Z轴电机（10）。
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