[发明专利]任意姿态光学元件在位面形检测装置及方法在审
| 申请号： | 201910662390.1 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110332905A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 李萌阳;曹庭分;蒋晓东;周海;张尽力;全旭松;易聪之 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216 | 代理人： | 蔡冬彦 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种任意姿态光学元件在位面形检测装置及方法，采用以上技术方案，结构灵活，用工业机器人取代了干涉仪的各种支撑调节平台和装置，使干涉仪的位置姿态调整更方便，同时简化了光学元件支撑机构，使其可以不用具有自由度调节功能；方法新颖，将动态干涉仪与工业机器人相结合，解决了重力倾斜姿态下的在位面形测量问题；应用范围广，可以同时满足各种姿态下的面形测量问题；环境适应性好，使用动态干涉仪，能够将干涉测量扩展到各种测量环境中，同时保证其测量精度和重复性；测量简单高效，引入了干涉条纹监控系统，实现了干涉条纹的自动调整，提高了测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光学元件 在位 面形检测装置 干涉条纹 面形测量 测量 干涉仪 自由度调节功能 工业机器人 环境适应性 应用范围广 测量效率 干涉测量 工业机器 监控系统 倾斜姿态 位置姿态 支撑机构 干涉 引入 灵活 支撑 保证 | ||
【主权项】：
1.一种任意姿态光学元件在位面形检测装置，其特征在于：包括工业机器人(1)、动态干涉仪(2)和干涉条纹监控系统(8)，所述动态干涉仪(2)通过连接工装(3)可拆卸地安装在工业机器人(1)上，在该动态干涉仪(2)的前端设置有透射标准镜(5)，所述干涉条纹监控系统(8)包括能够与动态干涉仪(2)进行数据传输的干涉条纹显示器(8a)以及能够与工业机器人(1)进行数据传输的图像监视器(8b)，所述干涉条纹显示器(8a)用于显示动态干涉仪(2)采集到的干涉条纹图，所述图像监视器(8b)用于监控干涉条纹显示器(8a)显示的干涉条纹图。
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