[发明专利]一种射频补偿发射探针

摘要

本申请公开了一种射频补偿发射探针，其特征在于，包括发射探针头部、第一扼流电感线圈、第二扼流电感线圈、27.12MHz射频滤波器、13.56MHz射频滤波器、转换电阻、电压表、第一电流表、扫描电源、滤波电容器、数据采集器、第二电流表、第一保护电阻、直流加热电源、第二保护电阻、50欧同轴电缆，通过本发明的技术方案，对空间电位测量信号中的高频噪声能够有效滤除，不仅可以用于常规稳态等离子体空间电位的测量，更加适合用于射频等离子体空间电位的诊断测量。

主权项

1.一种射频补偿发射探针，其特征在于，包括发射探针头部、第一扼流电感线圈、第二扼流电感线圈、27.12MHz射频滤波器、13.56MHz射频滤波器、转换电阻、电压表、第一电流表、扫描电源、滤波电容器、数据采集器、第二电流表、第一保护电阻、直流加热电源、第二保护电阻、50欧同轴电缆，其中，/n所述直流加热电源的正极连接所述第二保护电阻的一端，所述第二保护电阻的另一端连接所述第一扼流电感线圈的第一端，所述发射探针头部分别连接所述第一扼流电感线圈的第二端和所述第二扼流电感线圈的第一端，所述第二扼流电感线圈的第二端连接所述第一保护电阻的一端，所述第二电流表连接所述第一保护电阻的另一端和所述直流加热电源的负极，以上连接均采用所述50欧同轴电缆；/n所述扫描电源的正极依次串联所述第一电流表、所述转换电阻、所述13.56MHz射频滤波器、所述27.12MHz射频滤波器后接入所述第二扼流电感线圈的第二端，所述扫描电源的负极依次串联所述滤波电容器和大地；/n所述电压表的一端连接至所述转换电阻与所述13.56MHz射频滤波器之间，另一端接入大地；/n所述第一电流表、所述第二电流表和所述电压表的记录数据通道都与所述数据采集器连接。/n